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什么是踏步机?

日期:2024-11-18 13:33
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摘要:什么是踏步机?
步进曝光机是一种用于光刻(半导体和液晶制造工艺)的投射曝光设备。

随着IC电路图案的小型化,制作全尺寸光掩模图案变得困难。这是指在对大于实际尺寸的掩模图案进行缩小投影曝光时进行分步重复曝光的曝光设备

步进机是一种曝光设备,通过执行步进和重复来曝光整个待曝光区域。
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