企业信息
第11年
- 入驻时间： 2011-11-21
- 联系人：黄英
- 电话：0755-28578111
-
联系时，请说明易展网看到的
- Email：hy@tamasaki.com
产品中心
- MEIDENHOKUTO明...
- TAIWASEIKI台和精...
- 日本KANRYU
- 日本TASETO
- THREE-M
- 日本TOA东亚
- TECHNO FLEX 泰...
- CYGNUS赛纳生物
- 英国GARDASOFT
- MIXTER 米斯达
- SATOVAC佐藤
- ANALYZER
- mksci
- NIPPON SEISEN...
- SUN-KAGAKU太阳科...
- OHKURA大仓
- ATOMAX
- MURAYAMA村山电机
- TAMA珠电子
- AKIYAMA秋山机械
- YAMADEN山电
- TECMAN德克曼
- OTAKE大竹制作所
- TAIWA台和精机
- SHIZUOKA静冈制机
- OSHIMA大岛农机
- DIC迪爱生
- IMADA今田
- NITTOSEIKO日东精...
- TEM-TECH腾泰克研究...
- DAIO大王
- TOKYO-SEIDEN ...
- THOMAS托马斯
- MEIJITECHNO明治...
- 佑能工具 UNION TO...
- ASEY浅井工业
- SEIWA精和
- 柴田科学SIBATA
- APEL阿佩尔
- PROTEC普罗泰克
- ISOWATEC矶和科技
- WATTY 瓦蒂
- ANRITSU安立计器
- KSK加藤不锈钢化学
- CAPITAL-PUMP...
- YAMAMOTO-MS 山...
- B&PLUS
- APHRODI 阿芙罗迪
- M-SYSTEM 爱模
- KURAKA仓敷化工
玉崎营业部
深圳公司：0755-2857-8111
苏州公司： 0512-6708-9211
重庆公司：023-6637-6663
北京公司：010-6786-8591
江西公司：0799-6669-801
成都公司：028-6874-9616
广州公司：020-8203-6065
文章详情
步进原理
日期：2024-11-19 10:35
浏览次数：5
摘要：步进原理
为了对大直径晶圆和液晶进行高速缩小投影曝光，步进机使用短波长的光源以获得高分辨率，并将IC掩模图案投影并曝光在光罩上后，移动平台曝光晶圆的过程涉及重复多次图案曝光。步进机的内部结构包括曝光光源、投影镜头、晶圆台、晶圆装载机等。
由于IC大规模集成的需求，已开始使用波长较短的曝光光源。这是因为需要小型化，并且一般来说，用于曝光的光的波长越短，分辨率越高。 20世纪90年代，365 nm的i线是主要焦点，但此后波长变得更短，例如Krf（波长248 nm）和Arf（波长193 nm）。
晶圆载物台是为了更快、更高效地制造IC和其他半导体而高速移动晶圆的载物台。除了高速移动之外，由于精细加工还需要高定位精度。晶圆装载机负责传送晶圆，例如从晶圆台上取出晶圆并将晶圆放置在其上。
异物的粘附是IC制造中的一大敌人，并且需要高速地将精密的晶圆移入和移出。步进机具有上述结构，一边使晶圆步进一边进行顺序曝光。