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超净工作台原理

日期：2025-02-09 01:40
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摘要：超净工作台原理

洁净工作台要求工作台内部呈正压（工作台内部的压力高于外界空气的压力），以防止灰尘和空气中微生物的污染，阻挡空气从外向内的流动，并使用HEPA过滤器，其设计只允许经过具有高性能除尘功能的过滤器净化的空气进入内部。一般除尘效率在99%以上。

洁净工作台的结构在JIS B9922中有详细规定。例如，除了墙壁不能剥落或生锈外，主空气过滤器必须是HEPA或ULPA。另外，在处理酸、有机或有毒气体时，规定结构必须能够按指定路线排出空气，除非有协议，否则不得同时打开照明灯和**灯。

性能方面，额定风速设定为0.3～0.6m/s，平均风速为额定风速的±20%，洁净度为1～8级。在这种情况下，可确定风速由交货方与交货方协议。

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