小型压力传感器

概要

変換素子にひずみゲージを使用して、センサ内部でブリッジを構成した小型薄肉構造をした圧力センサです。スパッタリングとフォトリソグラフィ技術による薄膜ひずみゲージをダイヤフラム上に直接形成してあります。取り付けは接着剤を使用して行います。主に気体計測用に開発されたものです。

 

特長

注1）接液部の材質は銅合金を使用しています。本材質が腐食する恐れのある液体、気体には使用しないでください。
注2）接液部の組立に接着剤を使用しております。有機溶剤（トルエン、ケトン類など）の測定には使用できません。
注3）高温高湿の場所で長時間測定することはできません。
注4）水中で使用できません。

 

仕様

性能

定格容量	50kPa
非直線性	±1%RO以内
ヒステリシス	±1%RO以内
定格出力	1mV/V（2000×10-6ひずみ）以上
ケーブルの引き出し方向	受圧面に対して平行方向

環境特性

許容温度範囲	-20～70℃
温度補償範囲	0～50℃（AF，BFは結露しないこと）
零点の温度影響	±0.8%RO/℃以内
出力の温度影響	±0.3%/℃以内

電気的特性

許容印加電圧	4V ACまたはDC
推奨印加電圧	1～2V ACまたはDC
入力抵抗	350～1000Ω
出力抵抗	350～1000Ω
ケーブル	外径0.08mm，ポリウレタン銅線5cm， 先端はんだあげ

機械的特性

許容過負荷	150%
固有振動数	約18kHz
質量	0.15g
構造	密閉型