产品详情

TEM-TECH流通式结构PFA 传感器

  • 产品名称：TEM-TECH流通式结构PFA 传感器
  • 产品型号：SE4000TZP-420PC3
  • 产品厂商：TEM-TECH腾泰克研究所
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简单介绍
适合粘度高的CMP浆液 无死区的流通结构 接液部不使用金属或O形圈

TEM-TECH流通式结构PFA 传感器

的详细介绍
SE4000
适合粘性 CMP 浆料的压力测量。由于
没有死角，因此不存在 CMP 浆料硬化或气泡等问题。
PFA 传感器采用流通式结构，可兼容高粘度
-0.1或0~0.3、0.5、1MPa
兼容电流/电压输出、喇叭口、Super300等配件
接液部分：PFA
应用：泥浆

适合粘度高的CMP浆液
无死区的流通结构
接液部不使用金属或O形圈

高精度陶瓷传感器与高纯度PFA隔膜的接合结构
⚫接液部件质是不用担心金属离子流出的高纯度PFA
⚫采用无封入液的干燥传感器，破损时无污染
⚫传感器和隔膜的双重结构可以测量1MPa的高压
⚫也可以确认负压状况





SE4000系列

SE4000TZP-420PC2

SE4000TZP-420PC3

SE4000TZP-420PC4

SE4000TZP-420PC6

SE4000TZP-420WC2

SE4000TZP-420WC3

SE4000TZP-420WC4

SE4000TZP-420WC6

 

SE4000TZF-005PC2

SE4000TZF-005PC3

SE4000TZF-005PC4

SE4000TZF-005PC6

SE4000TZ3-010WC2

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SE4000TZ3-105PC2

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SE4000TZ3-420PC6

 


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