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玉崎ULVAC爱发科气相沉积机械增压泵

  • 产品名称:玉崎ULVAC爱发科气相沉积机械增压泵
  • 产品型号:PRC-006A
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍
罗茨泵用途 气相沉积、溅射、离子镀 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气 分析设备、泄漏测试设备 气体置换、填充、真空隔热 热处理炉、熔化炉 其他真空设备 **设计,内置手动复位型热保护器。 可以在大气压下操作。

玉崎ULVAC爱发科气相沉积机械增压泵

的详细介绍


用途
气相沉积、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、泄漏测试设备
气体置换、填充、真空隔热
热处理炉、熔化炉
其他真空设备



特征
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理,实现了高耐腐蚀性。
螺旋式转子轴采用独特的 ULVAC 设计,可提供高粉末排放性能。
从大气压到极限压力的整个压力范围内均可连续运行。
目的
真空排气系统
蚀刻设备、灰化设备、电子零件等离子清洗设备、
半导体制造设备等。
真空热处理炉、
烧结炉、渗碳炉等真空排气系统。
锂电池制造设备真空排气系统、
电极干燥设备、脱气设备、注液设备等。
医疗及食品相关设备、
冷冻干燥设备、真空干燥设备等的真空排气系统。



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