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热式气体流量计一些基本应用

热式气体流量计应用概况
热式气体流量计除了本章重点讨论输出连续量的TMF外.还有另一分支—热式沈*开关。流盆开关也有称作流动特续器(flow relay)。它重点在流魔超过上限(或下限)时，发出两位控制信号，有些流健开关的流虽上、下限值还可由用户自行设定。流t开关重点用于空阴、通风、水/风冷却、润份油等系统的保护监控。
当前TMF重点应用于侧址气体.只有很小部分应用于侧址徽小液体流盆。

热分布式气休TMF
本类热式气体流量计适用于洲盈小流*徽小口径的清沾气体，应用于精细制造工艺和徽小流量采样控制等。

半导休工业应用半导体工业曾是TMF重点服务对象。TMF是应承半等体业需求的推动而得到盖勃发展，应用于扩徽、软化、外延、等离子刻蚀、派射等工艺设备中，侧址和控侧超净气体或腐蚀/有害气体流胜.如级、氛、氛化氮、三奴化旅、暇化扳、砷化三氮、礴化氢等。1995年世界范圈内半导业仍脚里了三千余万奖元的TMF,约占热式流健仪表市场的1/3.量所用的配套用流量仪表，其应用非常普迫。原常用浮子流里计，现在凡要求较高者渐被气体TMF所代替.

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