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  • 产品名称:供混气系统(两路浮子流量计)

  • 产品型号:GQ-2F
  • 产品厂商:MICRO-X
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简单介绍:
供混气系统(两路浮子流量计)适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便两种气体切换使用,而不会造成大气进入加热炉管。
详情介绍:

两路浮子供气系统

产品名称:两路浮子控制(CVD)供气系统

型    号:GQ-2F

主要特点

本供气系统适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便两种气体切换使用,而不会造成大气进入加热炉管。

气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 

每一条气体管路均有一个高压截止阀,安-全有保证。 

显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。 

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

工作原理

由气体钢瓶输入两种气体,形成AB两种组份,经过减压阀减压,输出所需流量的气体,再通过调节每一组分的体积流量,输出预定比例关系的混合气体,达到加热炉所需求得气氛。两个连接头可连接二只气体钢瓶,如:H2/ARH2/N2O2/N2等。 

严禁氢气和氧气同时供气,保证安-全。 

将供气系统进口的两个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上,选择连接好两种气体,按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮,再旋转减压阀旋钮增大气体压力,调节两种气体流量,输出所需要的压力和流量。 

本供气(混气)系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统,尤其方便多种气体的切换混合使用;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,操作方便;每一条气体管路均有一个高压截止阀,**可靠!本系统广泛用于CVD供气系统,气体保护烧结,气体保护退火等。

这种气路控制系统适用于控制两种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合微行炉业的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

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