产品详情
简单介绍：
供混气系统(三路质量流量计)
详情介绍：
供气系统气路客户可自选
设备简介：GQ-4Z可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GQ-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合艾科迅的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
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质量供气系统技术参数 |
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外形尺寸 |
600x600x600mm |
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标准量程 |
50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar）； 500sccm（N2）（客户可自选） |
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数显压力表测量范围 |
-0.1Mpa～0.15Mpa |
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极限压力 |
3MPa |
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针阀 |
316不锈钢 |
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截止阀 |
Φ6mm 316不锈钢针阀 |
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电功率 |
AC220V/50HZ/20W |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5～1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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