微机械激光扫描镜 - 北京锦坤科技有限公司

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	激光偏转器	本系列的激光偏转器（激光扫描器）是激光扫描器产品中的新型产品，是用于机械加工，打孔，激光光束偏转的理想产品。扫描**度小于1milliradian,分辨力小于0.1milliradian.扫描速度达6000RPM.
	光束偏转器 deflector	本产品为高速光束偏转器，重复频率可达25MHz,偏转角度大于3度。可用于高速光切换，宽带滤波，图像及数据处理，等场合。
	微镜阵列 Micro Mirro Array	此系列产品为微镜阵列，即采用微光机电光束偏转镜组成的镜面整列。适用波长可从深紫外至近红外（DUV to NIR, 193nm~1500nm）。镜面可由256×256个微镜面组成，每个镜面为16um*16um。扫描频率可达1KHz。可用做图形的产生，可编程掩膜板等。

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