EMS 575T双头高分辨率离子溅射镀膜仪海德创业（北京）生物科技有限公司

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产品名称：EMS 575T双头高分辨率离子溅射镀膜仪
产品型号：
产品展商：EMS
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简单介绍

产品描述

EMS 575T是一款涡轮泵双头高分辨率镀膜仪（喷金仪）。EMS-575T样本放置在旋转样品台上（the rotary stage），盖好盖子（the chamber lid），按下启动按钮，涡轮分子泵开始加速，5秒钟后，机械泵开始启动，同时十秒气体排空程序启动，两个泵同时运行确保一个高真空。当涡轮泵加速，它的速度由柱状图来标示，到达速度的一半时，真空计扭至自动状态。当腔内气体压降为10-4 mbar，排气开始，腔内气压维持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之间，排气的*后阶段，靶材按照**镀膜时间开始喷镀。镀膜需要两种不同金属的，不需要关泵，继续溅射另一种金属。喷镀完成后，两个泵停止，排气阀排气。

仪器质保期2年。模块化的单元结构使得仪器维护方便，摘掉问题模块，换上无问题的模块，仪器即可很好的运行，一点不会耽误实验进程。

性能特征：

全自动一键式操作，微处理器数字控制方式，可预设参数
LCD屏实时显示状态参数
质保期：标准保修期为一年
高分辨率精细镀层（不超过0.5nm的铬颗粒大小）
薄金属镀层，典型5nm厚
涡轮分子泵
Peltier冷却双溅射头，无需冷却水
双溅射头：一次真空条件下，可顺序溅射两种不同的材料，对于需要依次喷镀两种金属的样品特别适用
磁控溅射靶源设计
旋转机械泵为备用泵，机械泵为外部安装式

仪器参数：

仪器尺寸	450mm(W) x 350mm(D) x 175mm(H)
工作腔室	硼硅酸盐玻璃: 165mm(Dia.) x 125mm(H)
加不锈钢底座	110mm(Dia.) x 115mm(H)
重量	42Kg
靶材	54mm(Dia.) x 0.2mm(Thick) (标准铬靶材和金靶材)
样品台	60mm(Dia.) ，以60 r.p.m 旋转，一定的倾斜度
真空泵工作范围（Penning)	ATM to 1x10^-7 mbar，镀膜腔体极限真空度10^-7 mbar
操作真空	1x10^-3 mbar to 1x10^-4 mbar
溅射电流	0-175mA
溅射时间	0-4 minutes
功率	1000v at 100 ma, 100 watts
沉积速率	30nm/min at 100ma
涡轮分子泵	60 litres/Second (Ultimate vacuum 1x10^-8 mbar)
电源配置	230 volts 50Hz (6 amp Max incl pump)
Services	Argon Nominal 4 psi
真空泵(推荐配件)	附带真空管和油气过滤器

订购信息：

货号	产品名称	规格
91110-TH	EMS 575T Twin Head Sputter Coater， complete with Target	台
91005	Rotary Vacuum Pump	个
92045	EMS 50 Water Chiller	个

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