一种过程质谱仪的进样接口装置的制作方法

一种过程质谱仪的进样接口装置的制作方法

        本实用新型涉及质谱分析技术领域，具体涉及一种过程质谱仪的采样接口装置。
背景技术：
质谱法是分析样品离子的质量m与电荷z的比值（简称质荷比，m/z）的一种分析方法。待分析的气体样品首先被电离，然后利用不同离子在磁场或电场中的不同轨迹，根据质荷比分离离子，得到质谱图，然后进行分析得到样品的结果。质谱仪是利用带电粒子在电磁场中偏转的原理，根据物质的原子、分子或分子碎片的质量差异，对物质进行分离和检测的仪器。它一般由检测系统、真空系统、电气系统和数据处理系统组成。 .其中，检测系统由采样系统、离子源、质量分析器和离子检测器组成。样品通常由采样系统引入离子源，在那里被电离成离子。离子束由质量分析器按质荷比分离，由离子检测器接收记录，得到质谱图。真空系统提供并维持质谱仪正常工作所需的真空度，通常为10-2Pa～10-5Pa。
过程质谱仪又称工业质谱仪或在线分析仪，是一种安装在现场的质谱仪，用于对生产过程中的气体进行定性和定量分析。因此，对过程质谱仪的一个重要要**分析速度快。在某些情况下，需要在短短几秒或几十秒内分析一个气体流路。目前，过程质谱仪的采样系统通常采用毛细管将气体样品注入过程质谱仪的离子源。
由于过程质谱仪正常运行所需的真空度通常为10-2Pa～10-5Pa，生产过程中的气体压力远高于离子源中的压力，因此进样系统必须使用更大的气体堵塞的管子，例如长长内径很细的毛细管，气体通过缓慢扩散进入过程质谱仪的离子源，因此气体样品很难在短时间内进入离子源;气样采样时间过长会影响过程质谱仪的工作效率，不能保证在较短的时间内完成气样的质谱分析。
技术实现要素：
为了克服上述问题或至少部分解决上述问题，本实用新型提供了一种过程质谱仪的进样接口装置。
根据本实用新型的一个方面，提供了一种过程质谱仪的进样接口装置，包括：三通管和微孔板；三通管任意界面对应的通道装有微孔板，微孔板所在平面与通道截面的夹角小于90°，微孔板与通道内微孔板壁紧密贴合，微孔板中心开有微孔。
其中，微孔的孔径为2-100μm。
通道包括**子通道和第 二子通道。**子通道的截面积大于**子通道的截面积。**子通道与**子通道之间具有过渡面。孔板与过渡面紧密贴合。
其中，**子通道的横截面为圆形。
其中，采样接口装置还包括微孔板固定螺母，微孔板固定螺母具有外螺纹，**子通道的内壁具有内螺纹，微孔板固定螺母具有外螺纹与**子通道内壁上的内螺纹匹配，**子通道和**子通道之间的过渡面是平的，过渡面平行于通道的横截面，微孔板固定螺母顺着微孔板方向旋转，将微孔板压紧；微孔板固定螺母的中央部分开有通孔，通孔方向与微孔板固定螺母的横截面垂直，通孔与微孔形成气体通道。
其中，三通管的每个接口包括螺母、套圈和喷嘴；喷嘴横截面为圆环，喷嘴上设有与螺母相匹配的外螺纹，螺母拧在喷嘴上。套筒位于螺母和喷嘴内部，套圈外壁为圆锥面，套圈外壁与喷嘴紧密贴合。
本实用新型提供了一种过程质谱仪进样接口装置，包括：三通管和微孔板；三通管的任一界面对应的通道内设有微孔板和微孔板，管子中央有微孔。气体通过通道时，需要通过微孔板中心部位的微孔；通道连接过程质谱仪，三通道管的其余两个通道分别连接气体样品和采样泵，使用采样泵降低三通道剩余两个通道中的气压。通道管，然后控制气体通过微孔进入过程质谱仪。与现有技术中的毛细管相比，微孔将大大减少质谱过程。气体样品的采样时间，从而提高过程质谱仪的工作效率。