扫描电子显微镜是利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品

        扫描电子显微镜（SEM）是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察方法。它利用聚焦的非常窄的高能电子束对样品进行扫描，通过电子束与物质的相互作用，激发各种物理信息，对信息进行采集、放大、再成像，从而达到表征样品的目的。物质的微观形貌。新型扫描电镜分辨率可达1nm；放大倍数可达30万倍及以上连续可调；景深大，视野大，立体成像效果好。此外，还可以结合扫描电子显微镜和其他分析仪器，观察微观形貌，同时分析微观区域内材料的成分。扫描电子显微镜广泛应用于岩土、石墨、陶瓷和纳米材料的研究。因此，扫描电子显微镜在科学研究领域中占有重要地位。
        由于透射电子显微镜用于TE成像，因此必须保证样品的厚度在电子束可以穿透的尺寸范围内。出于这个原因，需要各种繁琐的样品制备方法才能将大尺寸样品转化为透射电子显微镜可接受的水平。
         SEM——一种电子光学仪器，它利用极细的电子束在被观察样品的表面进行扫描，收集电子束与样品相互作用产生的一系列电子信息，并对图像进行转换和放大。它是研究三维表面结构的有用工具。
        它的工作原理是：
        在高真空镜筒中，电子枪产生的电子束被电子会聚透镜聚焦成细束，然后在样品表面逐点扫描轰击，产生一系列电子信息（二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等），各种电子信号被探测器接收，经电子放大器放大后，输入到由显像管栅极控制的显像管。
        当聚焦电子束扫描样品表面时，由于样品不同部位的物理、化学性质、表面电位、元素组成和不均匀的形貌，电子束激发的电子信息不同，导致不同的电子束强度也不断变化，*终在显像管的荧光屏上可以得到与样品表面结构相对应的图像。根据探测器接收到的不同电子信号，可以分别得到样品的背散射电子图像、二次电子图像和吸收电子图像。
        扫描电子显微镜的分辨率可达50~100?，电子放大倍数可连续变化十倍至几十万倍。因此，样品的整个表面都可以细看。