名称
内容
测量
范围
Z轴(垂直)
±80μm/±160 µm(增强型)
X轴(水平)
20mm
分辨率
Z轴
(垂直)
0.01μm/±20μm
0.02μm/±40μm
0.04μm/±80μm
0.08μm/±160μm
项目
参数
Ra、Rz、Rq、Rt、Rp、Rv、R3z、R3y、RzJis、Ry、Rs、Rsm、
Rsk、Rmr、Rku、Rmax、Rc、Rpc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2
标准
ISO,ANSI,DIN,JIS
图形
支承率曲线,粗糙度轮廓,直接轮廓
滤波器
RC,PC-RC,Gauss,D-P
取样长度(lr)
0.25,0.8,2.5mm
评定长度(ln)
Ln= lr×n n=1~5
传感器
测量原理
位移式差动电感
触针
天然金刚石,90锥角,5μm针尖半径
测力
<4mN
导头
硬质合金,滑行方向半径40mm
滑行速度
lr=0.25, Vt=0.135mm/s
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s
lr=2. 5, Vt=1mm/s
返回 Vt=1mm/s
示值误差
不大于±10%
示值变动性
不大于6%
电源
内置锂离子充电电池,用DC5V,800mA充电器充电
外形尺寸
主机:64*53*160mm 驱动器:23*27*115mm
重量(主机)
约380g
工作环境
温度:- 20℃~40℃
湿度:<90% RH
储存运输环境
温度:- 40℃~60℃