系统各部分构成及技术参数
测量范围：1000mm Y：1500mm Z：800mm。
结构类型：活动桥式。
机台承重：1500kg。
整机重量：3500kg。
整机尺寸：1880mm×2720mm×2950mm。
分辨率：0.5μm
测量系统：光电式增量光栅尺，光学刻度20μm。
测头不确定度：3.0μm。
空间测量不确定度：3.5 + L/1000 (单位:μm)。
操作杆操作：0-20mm/s（慢速模式），0-100mm/s（正常模式）。
CNC模式（Vmax）：单轴300mm/s，空间520mm/s。
CNC模式（αmax）：单轴900mm/s2，空间1500mm/s2
压缩空气：供气压力4-10bar，要求过滤至ISO8573-1，标准4级或更高。
设备使用环境条件及工作时间
机室温度： 20℃±2℃
机室温度*大梯度： 1℃/m，1℃/h，2℃/d
机室湿度：60%±5%
供气压力：﹥0.5MPa
空气流量：160 L/min
振动频率范围： 0-19Hz 19-75Hz >75Hz
振动振幅： 0.0011mm 0.0011-0.002mm 0.002mm
电压：220V±10%
频率：50-60HZ
电流：15A
耗电量：﹤800W
备注：用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆。
测头系统 1套
- 与所有M8螺纹的测头兼容 - 与*长达300mm的系列加长杆兼容 - 垂直A 轴转位：0至 105 °，以7.5°为调节幅度
- 水平B 轴转位：±180 °，以7.5°为调节幅度
- 720个可重复定位
- 杆固定
测头：英国Renishaw TP20测头可卸式模块
- 磁性连接及三点定位的模块能实现测针模块快速更换，锁定/解开特性，便于实现定位并解除了不必要的磨损，确保重复精度，无须重新校准。