高真空微调进气阀能**的控制每单位时间内气体的流量泄露到真空腔室。此阀的截流孔变化是通过微调螺纹机械带动阀针的上下位移来达到，从而精密的控制了阀门的气体泄露量。本阀的动密封采用不锈钢波纹管密封（1.4 除外），保证了阀门动密封的可靠性。为了防止粉尘的进入，在阀的气流入口，装有过滤气片，这样大大提高了阀门的使用寿命。本阀针的上下位移均有限位装置，保证了阀针，阀座及波纹管的寿命。阀们的适用介质为空气及非腐蚀性气体。