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SI-F80R系列激光位移传感器基恩士KEYENCE

SI-F80R系列激光位移传感器基恩士KEYENCE
基恩士KEYENCE激光位移传感器SI-F80R 系列是品牌中主推的一项产品，此产品具有**的测量、良好的性能而备受关注。

它的**度可以到测量一个物体的晶片厚度，在测量过程中，几乎不受晶片图案的影响，在同品牌中规格算是*高的了，采用了近红外SLD，可穿过硅、砷化镓、碳化硅、磷化铟、非晶硅及其它半导体，即使晶片已封上BG（背磨）胶带，也可**测出晶片厚度，通过减小光点直径和光点内的表面相差，可*大限度的减少晶片表面图案的变化和测量警报的发生次数。

激光位移传感器SI-F80R系列还有一个功能就是接触式测量，但这种测量方法有可能会损坏晶片。传感器测量范围包括BG胶带在内的高度，一旦胶带厚度发生变化，整个结果就会出现误差。它的测量范围是10 到 310 µm (n=3.5 时)，基恩士可实现的检测距离为80 到 81.1 mm，线性度为±0.1 µm，分辨率是0.25 µm，脉冲持续时间是200 µs，传感头的外壳防护等级为IP64，相对湿度为35 到 85% RH ( 无冷凝 )，重量约为70克。传感头和光谱单元成对校准。两者不可互换。

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