长平晶的结构用途
核心摘要:简述长平晶的结构和用途。长平晶是以等倾干涉法检定研磨面平尺平面度的标准量具。长平晶按尺寸分为210mm和310mm两种。制造长平品
简述长平晶的结构和用途。长平晶的结构用途 长平晶的结构用途 长平晶的结构用途 长平晶的结构用途
长平晶是以等倾干涉法检定研磨面平尺平面度的标准量具。长平晶按尺寸分为210mm和310mm两种。制造长平品的材料为K9光学玻璃。
长平晶的非工作面上有表示受检点位置的十字刻线,对于210mm长平晶有7个十字刻线,刻线间隔为30mm,两端十字刻线距端面为15mm;对于310mm长平晶两端十字刻线距端面为20mm,刻线间隔为30mm,共有9个间隔,另外在对称中点位置上增加一个十字刻线,共有11个十字刻线。
长平晶的外形图如图7-30所示。外形尺寸见表7-10。
长平晶的外形尺寸 表7-10
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长平晶长度
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宽度
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厚度
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新制的
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修理后的
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210mm±1
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40±1
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25±0.5
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≥23
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310mm±1
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30±0.5
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≥27
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使用长平晶时,考虑到其自重变形对测量的影响,且便于修正,应使长平晶支承在固定的位置上,并使工作面向下。一般常在工作面两端研合两块尺寸差小于0.1μm的0级量块;或用一专用钢球支承架,如图7-31所示,其支承钢球的尺寸差应在0.1μm以内。长平晶连同其支承一起放在被测表面上,用等倾干涉法进行平面度测量。
长平晶工作面平面度见表7-11。
表7-11 长平晶工作面的平面度
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规格/mm
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平面度/μm
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在工作长度内(在无自重变形时)
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在横向40mm内
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210
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-0.3~0
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0.1
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310
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-0.45~-0.15
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长平晶主要用于研磨面平尺平面度的检定。
长平晶使用时注意什么问题?
长平晶使用时应注意其支承与放置问题。
由于长平晶属细长类形状的量具,其自重变形的状态和大小随支承形式及支承位置的不同而变化,一般长平晶不能像平面平品那样直接置于被测表面上检测。检测时必须在规定位置上放上支承块,一般可在工作面两端研合两块尺寸差小于0.1μm的量块,或用专用钢球支承架。将长平晶工作面向下安放在被检表面上,用等倾干涉法检测。
由于长平晶自重的影响,因此长平晶工作时其工作面的平面度应包括长平晶本身自重变形量。长平晶各点的变形修正量按下式计算:
Fi=Δyi-△yo
式中Fi—长平晶在i点的自重变形修正量,μm;
△yi—长平晶在i点的自重变形量,μm;
△yo—长平晶在。点的自重变形量,μm。