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苏州世煦机电设备有限公司
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FFU具备的**功能
FFU作为净化装置,是通风切换器,在空气净化设备向高洁净超薄型大面积 FFU 延伸,保护气氛装置由原来制造氢气、氮气,向制造氧气拓展,这些已经完成 “ 跨越 ” 的新产品已在市场纷纷抢占 “ 制高点 ” 。如果由于 FFU 控制切换器的失误,很有可能造成氢气,氧气等易燃气体无法排出,当温度升高的时候就很容易引起爆炸。下面我们
苏州世煦机电设备
为大家讲解一个真实的案例。
超大规模集成电路对生产环境要求极为严格,要求厂房具有洁净、恒温恒湿、防微振、防水、防火、防爆、防腐蚀、防静电等功能。 FAB6C根据生产工艺要求建设 ISO5.5 级( 1000@0.3 μ m )洁净室,采用FFU干冷却盘管加集中新风切换器,天花板上安装FFU ,满布率约为 18% ,新风经过集中处理后,送入回风竖井,与回风混合,经 FFU进人生产区,回风经过架空地板、穿孔楼板至下技术层,并经过干冷却盘管冷却后至侧面的回风竖井。为了实现高洁净度的环境,在该项目中采用了穿孔楼板设计,它是一种穿孔率达 25% 、厚 0.8m 的钢筋混凝土楼板,穿孔成圆柱状,成矩阵分布,用于实现自上夹层→生产层→下夹层的垂直送风。在一般的建筑设计中,楼板基本是封闭式的,并具有一定的耐火极限。而穿孔楼板是均匀穿孔,上下连通,打破了一般设计模式。
FFU的设计直接影响到洁净室的温度,湿度,容尘量,易燃气体的含量,而他们都是火灾的罪魁祸首,所以说 FFU 设计一定要**严谨。才能保证洁净室**!
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