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产品简单介绍
Teledyne API溶解臭氧分析仪
W1 + 465L
Teledyne API溶解臭氧分析仪能够不间断测量水中溶解臭氧浓度。该仪器使用包含先进电子元件的水汽分离柱,能够提供极其精准稳定的臭氧读数。Teledyne API溶解臭氧分析仪该仪器适合应用于饮用水处理、污水治理和去离子水处理过程中的臭氧测量。
Teledyne API溶解臭氧分析仪
470
Teledyne API溶解臭氧分析仪470是*先进的溶解臭氧测量模块,为半导体湿法处理和许多其他工业过程设计。它能够提供去离子水或硫酸中浓度高达150mg/L的溶解臭氧测量。Teledyne API溶解臭氧分析仪470已完成“预备清洁”,能够满足高纯度半导体过程的需求,并且可简单的直接拼接进任何湿法处理的环流回路中,*高支持150 SLPM的流量。
Teledyne API水冷臭氧发生器
OG-5000
Teledyne API水冷臭氧发生器OG-5000是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的,可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿法处理过程中。 Teledyne API水冷臭氧发生器OG-5000系列设计紧凑,使用水冷系统,能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。
API高浓度高纯度臭氧输送系统
ODS
Teledyne API高浓度高纯度臭氧输送系统ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求*高的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合完全,操作简单,能够方便的与绝大多数半导体机台联动,插入即可使用。 该系统基于微处理器的控制器能够根据用户提供的设定值伺服控制臭氧输送。
Teledyne API高纯度臭氧输送系统
Mini ODS
Teledyne API高纯度臭氧输送系统 Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统,能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计,却是一个完整的臭氧输送系统,包含:高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。
Teledyne API臭氧发生器
SCI-552
Teledyne API臭氧发生器SCI-552 SCI-552是臭氧输送系统的控制器,能够为很多系统部件提供电气控制界面,包括:臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。
Teledyne API催化臭氧破坏器
CAT-O3
Teledyne API催化臭氧破坏器 CAT-O3系列臭氧破坏器能够**的分解高浓度臭氧到亚ppm浓度级,远远低于推荐的**臭氧浓度。该仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。 Teledyne API催化臭氧破坏器CAT-O3系列臭氧破坏器的外壳由不锈钢焊接而成,并配有热屏蔽层。该设备的设计能够满足行业内严格的**标准。
Teledyne API空冷臭氧发生器
AC-2025
Teledyne API空冷臭氧发生器AC系列臭氧发生器使用静音电晕放电技术,且设计紧凑。该陶瓷基的工业级臭氧发生器能够生产浓度超过200 g/Nm3 或 14% w/w的臭氧。AC系列发生器可选19英寸的柜机式外壳或坚固的、能够应对严苛工业环境的壁挂式外壳。Teledyne API空冷臭氧发生器为了便于使用,每台AC系列臭氧发生器都配有整合的控制器,使得仪器可在本地或远程模式下运行。安装在内部的强制通风冷却系统能够高效的在系统内循环空气以冷却臭氧发生单元和内部电源
Teledyne API水冷式臭氧发生器
OG-5000
Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000 OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的,可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑,使用水冷系统,能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。Teledyne API水冷式臭氧发生器OG-5000该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。
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