本公司长期销售 租赁 维修 回收二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统 二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统，欢迎来电联系。 本公司长期销售 租赁 维修 回收二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统 二手sentech SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统，欢迎来电联系。 联系人：张先生 联系电话： 传真： E-mail：@163.com 在线咨询QQ：274707770 备注：长期现金高价回收：二手手机通讯测试仪器，示波器，频谱分析仪，网络分析仪,综合测试仪，信号源,示波器，电源，万用表，功率计，电源，电子负载，天馈线分析仪，功率计/头，LCR表，GPIB卡等等。如果你手中还有闲置的二手仪器，防止存放贬值，挤压资金，你也可以联系我，我们愿意以市场*高价回收利用，您的满意就是我们*终的追求。 ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀 SI 500 SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，特别针对III-V半导体和微光学应用
主要特点: • 高速率刻蚀 • 低损伤 • 高深宽比 • 高一致性 • 平��三螺旋天线式PTSA等离子源(P)lanar (T)riple (S)piral (A)ntenna • 远程控制 • 应用领域：III-V半导体化合物，微光学，微系统 • SENTECH**等离子设备操作软件 • 穿墙式安装方式 • 干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统
系统配置: • PTSA ICP等离子源 (13.56 MHz, 1200 W)，集成自动匹配网络。 • RF偏置(13.56 MHz, 600 W) • 循环进气，集成到PTSA源内 • 高速率真空泵系统，独立气流压强控制 • 预真空锁loadlock， 带有取放机械手 • 绝缘、冷却和加热电极(-30ºC up to 250ºC)，6" 基底或6" 托架(支持2", 3", 4" 晶圆,小片样品) • He背部冷却，机械钳 • 动态温度控制 • 远程控制 • PC (Windows XP) • SENTECH**等离子设备操作软件
特性: • 全自动/手动过程控制 • Recipe控制刻蚀过程 • 智能过程控制，包括跳转、循环]调用recipe。 • 多用户权限设置 • 数据资料记录 • LAN网络接口 • Windows NT 操作软件
选项: • 增加气路 • Quartz window for PTSA source • 在线监测窗口，穿过PTSA源 • 循环冷却器，用于下电极温度控制(-30ºC to 80ºC) • 高密度等离子体磁性衬板 • 对等离子源和磁性衬板的外部升高装置 • 隔离环 • Cassette到cassette操作方式 • 穿墙式安装方式 • 干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统