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表面粗糙度轮廓测量仪的光外差干涉法

常见的干涉显微镜分两种形式，我国这两种形式的产品型号分别为6J和6JA型(如上海光学仪器厂生产的6JA(JBS))，表面粗糙度轮廓测量仪的光外差干涉法就是在此基础上提出的一种新方法。

光外差法的原理图。由He-Ne激光器1发出的激光被分光镜2分成两路:一路透射经声光调制器凡**衍射光频率增加f 2= 40MHZ、经反射镜4扩束系统8由透镜会聚到物镜14的后焦点上，经14后成为平行光照射到被测面15上，作为参考光束;另一路由分光镜2反射经声光调制器5**衍射光频增加f 1= 41MHZ、经反射镜6扩束系统7分光镜12，由物镜14会聚在样品表面，作为测量光束，测量光斑的大小由物镜14的参数决定。

透过分光镜12的测量光束与被分光镜12反射的参考光束产生拍波;由探测器13接收，产生参考信号，而从被测面返回的两束光由分光镜10反射进入探测器12产生测量信号将探测器11、13接收到的测量与参考信号送入相位计进行比相，于是可测得表面轮廓高度值从理论推导中可以看到，干涉仪二臂不共路部分的相位差通过比相，其影响被消除，这对提高仪器的抗干扰能力，提高信噪比十分有私该测量装置的缺点是用了两个价格昂贵的声光调制器，不利于产品化。

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