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表面粗糙度轮廓测量仪的原理

　　表面粗糙度轮廓测量仪由传感器、驱动箱、指示表、记录器和工作台等主要部件组成。电感传感器是轮廓仪的主要部件之一，传感器测杆一端装有触针（由于金刚石耐磨、硬度高的特点，触针多选用金刚石材质），触针的**要求曲率半径很小，以便于反映表面情况。测量时将触针**搭在加工件的被测表面上，并使针尖与被测面保持垂直接触，利用驱动装置以缓慢、均匀的速度拖动传感器。由于被测表面是一个有峰谷起伏的轮廓，所以当触针在被测表面拖动滑行时，将随着被测面的峰谷起伏而产生上下移动。此运动过程又运用杠杆原理经过支点传递给磁芯，使它同步地在电感线圈中作反向上下运动，并将运动幅度放大，从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化，并将触针微小的垂直位移转换为同步成比例的电信号。

　　传感器的线圈与测量线路直接接入由后续装备成的平衡电桥，线圈电感量的变化使电桥失去了平衡，于是就激发输出一个和触针上下位移量大小比的电量，此时的这一电量比较微弱，不易被察觉，需要用电子装置将这一微弱电量的变化放大，再经相敏检波后，获得能表示触针位移量大小和方向的信号。信号又可分为三路：一路加载在指示表上，以表示触针的位置；一路输送至直流功率放大器，放大后推动记录器进行记录；一路经滤波和平均表放大器放大之后，进入积分计算器，进行积分计算，由指示表直接读出表面粗糙度参数值。

　　这种表面粗糙度轮廓测量仪的测量范围通常为Ra0.02~10μm，其中有少数型号的仪器还可以测定更小的参数值。仪器配有各种附件，以适应平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、曲面、小孔、沟槽等形状的工件表面测量，测量迅速方便，且准确较高。

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