石英管式微波等离子体发生装置FM-CVD8 FM-CVD6 上海苏海电气有限公司

石英管式微波等离子体发生装置

如果您对该产品感兴趣的话，可以
产品名称：石英管式微波等离子体发生装置
产品型号：FM-CVD8(升级型)、FM-CVD6(基本型)
产品展商：亨美
产品文档：无相关文档

简单介绍

石英管式微波等离子体发生装置1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足额功率，连续可调；2、本底真空不劣于10Pa；工作气体分3路控制流(入)量；

产品描述

石英管式微波等离子体发生装置
(一)性能概况
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足额功率，连续可调；
2、本底真空不劣于10Pa；工作气体分3路控制流(入)量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室，置于微波系统和真空系统的偶合点上；
4、制冷循环水冷却。
(二)典型实验
1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等；
2、集成电路等的刻蚀；
3、可催化引发常规化学很难实现的反应；
4、高分子、金属、生物材料表面改性。
(三)产品特色
1、微波准零泄漏，确保人身**；
2、微波足额功率，等离子体活力强劲；
3、样品升降架精巧豪，可加热可冷却；
4、制冷循环水避免长流水费水扰民；
5、循环水机可联机可独立使用；
6、缺水保护报警功能完善可靠；
7、排气口有环保型油雾过滤器；
8、电控系统功能完善灵便醒目；
9、整机造型典雅大气。

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
免责申明：以上内容为注册会员自行发布，若信息的真实性、合法性存在争议，平台将会监督协助处理，欢迎举报

产品目录

产品资料

石英管式微波等离子体发生装置