必须按照用户需求的规格提供仪器,去监控和记录洁净室的关键参数和报警。经常需要用有授权且合格的便携或者其他仪器来进行监控、记录、和/或报警,这些仪器并不属于 HVAC 控制系统的一部份。zui好能对一些设备如风机、线圈和控制组件的性能进行监控,不过只要关键参数符合可接受的标准,这些可不作为常规需求。在设置关键参数测量仪器的设计、警 报和报警界限时应该考虑到仪器测量的精-确度。
用于监控、记录和报警关键参数的传感器必须成为资格认证的一部分,并且纳入变更控制程序范围。
关键参数需要通过经授权并合格的自动监控系统持续地,或者通过人工方法使用合格的仪器经常性地进行监控、记录和告警。监控的频度需要足够高,以观察关键参数是否维持在可接受的操作范围内,并且任何偏离可接受范围的持续时间保持在不影响产品和原材料的范 围以内。人工监控须有可控的流程以及生产记录系统。
关键参数的监控频率视所要监控的系统而定。举例来说,如果采用了洁净室压力的灵敏控制,监控频率要求比静态平衡(被锁定的气闸)系统更高。注意:对于新的系统,关键参数的监控需要更加频繁。通常而言,对于有良好历史跟踪记录,能够保持在可接受的操作范围内的系统,频度可有所降低。
监控关键参数的传感器必须符合相关的国家技术协会的标准或等效的参考标准。
控制器和传感器的位置须仔细选择,以便于常规维护和校准。
设置于危险环境和风管内的传感器和控制器需要特别注意其选配和布位。
当不符合验收标准时,用户必须定时对关键参数监控。当某个被监控参数开始漂移而超出控制,必须确定警告值。验证计划必须阐述关键参数的感应,报警和记录系统。
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