对于洁净室来说,空气中悬浮粒子的测试无疑是*重要的检测项目。测定洁净室空气中粒径分布在0.1-0.5μm范围内的悬浮粒子浓度,从国际标准来看其目的有:
按照国际标准ISE 14644-1,对洁净室或洁净设备进行检验或验证,或是按照国际标准ISO 14644-2对洁净室的运行状态进行定期监测。至于测试状态则根据需要和洁净室实际占用情况决定,可能是空态静态和动态中的任何一种。
国家标准GB 50073-2001与国际标准ISO 14644的上述规定是统一的。
通常“空态”适用于新建或新改造的洁净室,完成“空态”下的测试后,再在“静态”或“动态”下进行达标测试,而洁净室空气中悬浮粒子的监测一般都是在动态条件下进行。
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