洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入洁净室内的空气量适当的大于回风和排风量时，室内则可维持一定的正压值。此时，在室内外静压差的作用下，通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净空调系统来说，过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加，从而影响风量，排风设备的时开时停也会导致排风量的变化；此外，与楼道、室外相邻还会因热 压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查，并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。
维持压差的控制措施有：
回风口控制即通过回风口上的百叶可调格栅或阻尼层改变其阻力来调 整回风量，达到控制室内压力的目的。这是一种*简单的控制方式，特点是结构比较简单、经济。格栅控制调节方便，但格栅不易密闭，且调节幅度不大，同时 也会对气流方向产生影响。一般使用初效泡沫塑料或初效无纺布作为阻尼层，通 过改变回风口的阻力来调整回风量，控制洁净室内外的压差。
余压阀控制通过手动或自动调整余压阀上的平衡压块，改变压阀的阀 门开度，实现室内的压力控制。余压阀一般设在洁净室下风侧墙上。采用这种措施时，洁净室内需有足够的剩余正压值，如果排风量发生变化，需重新调整余压阀。余压阀安装简单，但长 期使用后关闭不严。调节回风阀或排风阀根据检测的室内压力值，调节回风管上的电动阀，改变回风量，控制洁净室内的压力值。