高频交流信号在测头线圈中产生电磁场，测头靠近导体时，就在其中形成涡流。测头离导电基体愈近，则涡流愈大，反射阻抗也愈大。这个反馈作用量表征了测头与导电基体之间距离的大小，也就是导电基体上非导电覆层厚度的大小。由于这类测头专门测量非铁磁金属基材上的覆层厚度，所以通常称之为非磁性测头。非磁性测头使用高频材质做线圈铁芯，例如铂镍合金或其它新材质。与磁感应原理比较，主要区别是测头区别，信号的频率区别，信号的大小、标度关系区别。与磁感应测厚仪一样，涡流膜厚仪也达到了分辨率0.1um，允许误差1%，量程10mm的高水平。
使用电涡流原理的膜厚仪，原则上对所有导电体上的非导电体覆层均可测量，如航天航空器表面、车辆、家电、铝合金门窗及其它铝制品表面的漆，塑料涂层及阳极氧化膜。覆层材质有一定的导电性，通过校准同样也可测量，但要求两者的导电率之比至少相差3-5倍（如铜上镀铬）。虽然钢铁基体亦为导电体，但这类任务还是使用磁性原理测量较为合适
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