3D压痕仪系统主要功能
3D压痕仪系统是一种用于材料科学领域的计量仪器，于2010年07月13日启用。
技术指标
*小载荷_25uN；*大载荷350mN；*大压痕深度 3100um；位移分辨率_0.0004nm。
主要功能
3D压痕仪系统主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以测定材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、存储模量及损耗模量等特性。 微米级划痕测试仪（MCT）：用于界定薄膜与基体的结合强度，可分析有机、无机，软质和硬质薄膜的破坏形式。
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