Variable Angle Laser Ellipsometer 可变角度激光椭圆仪

可变角度激光椭圆仪（型号：HO-ED-TH-02）旨在满足现代研究的要求。椭偏法是一种非常灵敏的测量技术，可为薄膜计量提供****的功能。作为一种光学技术，椭圆偏振法是无损的并且接触较少。薄膜的光学厚度或折射率可以通过分析偏振变化来计算。

规格


    测量范围：1 nm〜300 nm

    入射角：30°〜90°，误差0.1

    DPSS激光：532 nm，5 mW

    Si光电二*管：5.8 x 5.8 mm有效面积
旋转范围

    偏光镜：0°〜360°

    四分之一波：0°〜360°

    分析仪：0°〜360°

    激光臂：70°（从水平面起）

    探测器臂：70°（与水平面成直角）

    分辨率：0.1度

椭圆偏振法测量反射或透射时偏振的变化。通常，椭圆光度法仅在反射设置中完成。偏振变化的确切性质是通过分析样品的厚度，复折射率等特性来确定的。尽管光学技术固有地受衍射限制，但是椭圆偏振法利用相位信息和光的偏振态，因此可以实现埃级分辨率。以*简单的形式，该技术适用于厚度小于一微米到几纳米的薄膜。

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