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- 产品名称：holmarc 旋涂机
- 产品型号：HO-TH-05
- 产品展商：holmarc
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- 发布时间：2020-03-26
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简单介绍
Holmarc的旋涂机，型号：HO-TH-05是专用的台式系统，用于在实验室中以良好控制的旋涂工艺参数旋涂小基材。高速和持续时间范围允许用户获得所需的薄膜厚度或厚度。旋转头执行器是一种精密的直流伺服电机，需要较少的维护，并具有**的速度和加速度控制。由无油真空泵驱动的真空吸盘将基材固定在旋转头上。
产品描述
Holmarc的旋涂机，型号：HO-TH-05是专用的台式系统，用于在实验室中以良好控制的旋涂工艺参数旋涂小基材。高速和持续时间范围允许用户获得所需的薄膜厚度或厚度。旋转头执行器是一种精密的直流伺服电机，需要较少的维护，并具有**的速度和加速度控制。由无油真空泵驱动的真空吸盘将基材固定在旋转头上。
该设备具有用户友好的前面板，该面板具有用于编程旋转过程的键盘和LCD。旋转持续时间，旋转速度，加速度等都是可通过前面板进行编程的参数。由于程序存储器是非易失性的，因此在断电时不会丢失所记录的参数。该模型配备有9个预设的可编辑程序的存储器，每个程序有9个步骤。
特点
● 夹头直径：10毫米，23毫米，35毫米
● 透明**盖在工作室
● 非易失性程序存储器
● 人性化设计
● 后面板电源开/关
● 支架架，以保持吸管分发解决方案
● 进出惰性气体吹扫出口，6mm油管
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执行器
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无刷直流电机
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纺丝速度
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60-9999 rpm
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基板直径
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30毫米至70毫米
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电源输入
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230V，50Hz
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读出
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20 x 4线LCD
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旋转室
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尼龙
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加速
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5-2000 rpm /秒
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转速精度
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<5％
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可编程参数
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速度，加速度，停留时间和步数
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*大步数
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9
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程序记忆
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9个程序（非易失性）
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尺寸
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400mm深度x 275mm宽x 500mm高
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重量（约）
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：
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34公斤
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应用领域
旋涂在有机电子，纳米技术，半导体工业和其他工业领域无处不在。
旋涂广泛用于使用溶胶-凝胶前驱体在玻璃或单晶基板上的功能性氧化物层的微细加工，可用于制造具有纳米级厚度的均匀薄膜。它广泛用于光刻中，以沉积约1微米厚的光刻胶层。
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