压电探针台将用于测量振动能量收集器结构的压电信号。压电探针台包括（i）压电探针台主体框架，（ii）卡盘，（iii）带有微操纵器的压电衰减器支架，（iv）三目显微镜，（v）带有探针**的微操纵器，（vi）样品支架和其他必不可少的附件安装在主体框架上。
1.压电探针台的主体框架（1号）
压电探针台的主体框架具有将压电衰减器支架安装到微操纵器，三目显微镜，微操纵器和基板上的规定。基板具有足够的面积以同时容纳至少四个微操纵器。基板和真空吸盘/热吸盘的布置将有助于将探针**轻松放置在放置在真空吸盘/热吸盘上的样品上。基板与带磁性底座的微操纵器兼容。主体框架允许真空吸盘/热吸盘平台在X-YZ方向上自由移动。基本单元是坚固耐用的结构，带有用于桌面操作的M6螺孔。
2.夹头
卡盘具有XYZ移动平台，XYZ行程为50毫米x 50毫米x 10毫米。卡盘与基座完全电气隔离和热隔离。卡盘的泄漏电流为100 pA或更小。该产品提供两种类型的卡盘，一种是真空卡盘，一种是热卡盘。
一种。真空吸盘（1号）
真空吸盘镀金，直径为100毫米。真空吸盘具有通过真空泵将样品牢固地保持在吸盘上的功能。
b。热卡盘（1号）
温度范围：室温至300°C，分辨率≤??±1°C。
直径：100毫米
热卡盘的表面镀金。带有数字显示的数字温度控制器单元随附了所有必需的电缆和附件。
热卡盘能够将温度保持在设定点〜6小时，并且温度稳定性≤Δε±1°C。
3.带有微操纵器的压电衰减器支架（1号）
带有支架的微操纵器可容纳500 gm重量的衰减器。XYZ行程为10×10×10 mm，分辨率为10 um。另外，微操纵器应提供螺钉拧紧以机械方式固定在压板上。提供了由绝缘材料制成的刚性绝缘棒（Peek），以通过M6螺孔与衰减器集成在一起。
系统提供了两种类型的此类刚性绝缘棒（由Peek制成）。
a）在类型1中，刚性绝缘棒（由Peek制造）的一端具有适合与衰减器的M6槽（深度为10 mm）集成的螺纹。绝缘棒的另一端有一个槽，该槽用于使用金属螺钉和用于将电连接到SMU的合适的导线固定弹簧加载的镀金Pogo针尖。系统随附直径为1 mm（10 Nos），1.5 mm（10 Nos）和2 mm（10 Nos）的圆形扁平**的Pogo**。系统提供了10根Peek制成的绝缘棒。
b
b）在类型2中，绝缘杆（由Peek制成）是弹簧加载的，并且弹簧加载的刚性绝缘杆（由Peek制成）的一端具有适合与衰减器的M6槽（深度为10 mm）集成的螺纹。但是，绝缘棒的另一端具有圆形的平面和抛光表面，其直径分别为1毫米（10号），1.5毫米（10号）和2毫米（10号）。
4.带照相机的三目镜显微镜（1号）
提供具有旋转和平移运动的三目显微镜，用于观察工作区域并将探头**轻松放置在样品表面上。提供了一个带有合适软件的基于Windows的显示系统，用于查看和保存样本图像。显微镜具有以下规格：
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光学系统
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无限远校正（200mm套筒镜）
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观察方法
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明场
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照明
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反射（同轴和成角度）
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照明系统
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高亮度白光LED
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鼻架
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旋转，四倍，具有精que确的点击止动
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观察头
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Siedentopf三目镜头，倾斜30度，IP调节48-75 mm
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目镜
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广角目镜，10X，FN = 20mm，屈光度可调。
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专注
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手册
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目标
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目标
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普莱诺APO 5X
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不适用
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0.18
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西数
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40毫米（FOV目镜= 4毫米，FOV CCD = 1.31 x 0.984毫米）
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放大
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目镜为50倍@相机为5倍
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相机规格
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传感器尺寸
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1 / 2.5英寸CMOS彩色
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主动式成像仪尺寸
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6.55毫米（H）X 4.92毫米（V）
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*高分辨率
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2048 x 1536（3匹）
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**人称射击
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10 FPS @全分辨率
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像素大小
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3.2 x 3.2微米
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扫描类型
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逐行扫描
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快门式
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电子卷帘门
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曝光时间
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0.047毫秒-3000毫秒
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资料格式
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8位RAW，24位BMP
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灵敏度
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> 1.0 V /勒克斯-秒（550 nm）
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光谱范围
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380-650纳米
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信噪比
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43分贝
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动态范围广
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61分贝
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定义
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> 850条
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曝光模式
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自动/手动/区域
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白平衡
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手动/单次/区域/自动
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图像格式
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RAW / BMP / JPG / PNG
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5.带有探针**的微操纵器（2个）
显微操纵器用于精que确移动探针并精que确放置在样品上进行电测量。在两个微操作器中，一个是左手操作的，另一个是右手操作的，以便于在样品上移动**。微操作器具有以下规格：
1）独立的XYZ行程：10 x 10 x 10毫米
2）分辨率-10μm; 漏电流-100 pA
3）借助螺丝锁将探头固定器牢牢固定在微操作器上。探针支架具有合适的机制，可将探针牢固地固定在其上。探针支架与压电探针台的微操纵器，基板和基础单元完全电气隔离。探头固定器能够执行低直流和交流（频率高达1 MHz或更高）电流测量。
4）包装成盒/小包的镀金钨**（数量-10个），**直径：50μm，与引用的微操作器**支架兼容。
5）微型操纵器可实现从探针尖到测量仪器（例如源测量单元（SMU）和CV计）的电气连接。
6.样品架（1号）
样品架用于电测量直径为8毫米至15毫米，厚度为1毫米至5毫米的金属氧化物颗粒。样品架由两个平行电*组成，其中一个固定在位置上，另一个可移动以通过调节千分尺与样品接触。电*的接触**为圆形，由铜制成，并带有正确的布线以连接到SMU。这些接触**与样品架的主体隔离。系统随附直径为5毫米，7毫米和9毫米的触点。
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