一、日常维护与正确操作
1.日常维护
(1)三坐标测量机对环境要求比较严格，所以每天要做好设备的卫生清理，要做到每日一小清，每周一大清，清理时要注意减少室内灰尘，室内清扫要采用吸尘器，对于工作台、附件柜等用脱脂棉清扫。
(2)三坐标测量机使用的是气浮轴承，如果气源不干净，有油、水或杂质，就会造成气浮轴承阻塞，严重时会造成气浮轴承和气浮导轨划伤，甚至气浮块生锈，后果严重。所以每天要检查机床气源，放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器，必要时更换滤芯。
(3)三坐标测量机的导轨加工精度很高，与气浮轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其他杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以必须每天清理大理石工作台及导轨，工作台和导轨要用棉绸蘸上无水乙醇清洗。
2.正确操作
(1)三坐标测量机对温度、湿度要求比较高，开机前检查室内温度、湿度是否正常，若不正常应查明原因才能开机。若温度、湿度不正常，三坐标测量机可能报警而不能工作。
(2)检查外围设备是否完好，控制系统间是否连接正常。
(3)检查电源、气源是否正常。
(4)按顺序开机，接通气源，依次打开主电源、不间断电源，打开计算机，启动程序。启动后，检查各功能键是否正常。
(5)被测零件在放到工作台上检测之前，应先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物，影响测量机的测量精度及测尖使用寿命。测量时，应把零件放在方便检测的位置。安装更换测杆、探头前，应先按下保护键。测量中，要避免被测零件与主轴、测头之间产生干涉和碰撞。
(6)在工作过程中，测座在转动时(特别是带有加长杆的情况下)一定要远离零件，以避免碰撞。
(7)测量完毕，要注意做好清理工作，卸下被测工件，将测量机退回原位，按开机的逆顺序关机。将气源、过滤器放水，为下次工作做好准备。
3.注意事项
严禁用脱脂棉清洗导轨，以防止棉绒进入气浮块中。保养过程中不能给任何导轨加任何性质的油脂。为保持室内湿度，不要用湿拖把拖地。不要使用压缩空气来清理机器，压缩空气可能导致污垢、金属片等影响空气轴承的正常工作。测量工件时，如果中间休息，要把Z轴移到下面没有工件的位置。
二、常见故障与排除
1.开机后设备不能工作
应检查控制盒至主机之间的连线，插接口是否接触**，更换连线或重新插接后再启动，故障排除。
2.设备检测过程中报警
查报警代码为光栅报警，重启后开机报警依旧。产生这种现象的原因为光栅有灰尘或光栅信号偏移。若为前者，可用棉绸蘸上无水乙醇对报警的光栅轻轻的擦拭。若为后者，只有用示波器对光栅信号进行调整。当然，光栅信号的调整，需要有专业人员或经过培训的维修人员才能进行。如过通过调整，故障还不能排采用维修工人的建议后，将钢丝绳导引装置在地面制作好，然后再焊接上。这种方法使该装置变轻，不用雇吊车。焊接的时候站在旁边一台门机的主臂架上即可，用时2—3小时，且省了大量资金。此一项每年为公司节约十万元以上。