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Agilent SH-110涡旋式干泵典型应用
Agilent SH-110涡旋式干泵是业内**的干式密封涡旋泵,可以方便地组装到原始设备制造商 (OEM) 系统中。这种单级泵体积小巧,抽速 110 升/分(频率 60 Hz),极限压力 50 mtorr (0.07 mbar),是许多*终用户应用的理想选择。
Agilent SH-110涡旋式干泵典型应用符合欧盟认证 (CE)、加拿大标准协会认证 (CSA) 和 Semi S2-0200 的要求。
Agilent SH-110涡旋式干泵典型应用:
扫描电子显微镜
安捷伦的涡旋泵提供清洁可靠的无油真空,是电子扫描显微镜等要求苛刻的仪器类应用的理想选择。
各种验实应用
久经考验的涡旋泵技术在低压强下提供长期可靠的无油真空。涡旋泵的工作原理从根本上消除了可能产生严重后果的突发故障的可能(如膜片泵)。IDP-2、IDP-3以及SH-110重量轻(IDP-3仅为9.5公斤),而且安装了把手,易于移动,是实验室应用的理想选择。
进样室和传输室
越来越多的实际使用实例已经证明了,对于要求洁净无油的生产工艺中的进样室和传输室,涡旋式干泵是性能*可靠低成本的*佳选择。
光束线
涡旋式干泵与分子泵和离子泵协同工作可快速获得无油真空。安捷伦公司为同步辐射、光束线等加速器的科学实验提供了无油清洁的真空解决方案。
干燥炉
涡旋式干泵避免了油封式旋片泵返油的风险,同时,高效的气镇阀确保其在抽除水蒸气过程中的可靠运行。
低温泵的再生
由于其超群的排水蒸气能力,安捷伦涡旋式干泵适用于低温泵的再生。对于此应用,建议使用惰性气体(或氮气)的吹扫件,以进一步提高泵的耐水蒸气和其他可凝气体的能力。
手套箱
对于严格的制造工艺,安捷伦涡旋式干泵可以避免油污染,使工艺更加洁净,同时无需昂贵的废油处理,保护环境。
分子泵机组的前级泵
涡旋式干泵是分子泵理想的前级泵,与分子组成了**的无油高真空机组,被广泛地运用于各种高真空应用,如质谱分析等。
检漏仪
安捷伦专门为氦气质谱检漏仪提供的特殊Triscroll涡旋式干泵,提高了对氦气的压缩比,降低了氦本底,是干式检漏仪的*佳前级泵。
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