Keithley 6521低电流扫描卡Keithley6522电压/低电流扫描卡
Keithley6521 低电流扫描卡是一种 10 通道复用器,旨在在多点测试应用或必须改变测试配置时切换低电流。每条通道上的偏置电流 <1 pA,每条通道之间保持高隔离度 (>1015 W)。即使在反选通道时,6521 仍保持电流路径,是真正的电流开关。BNC 输入连接器帮助为灵敏测量提供屏蔽,扫描卡兼容低噪声同轴电缆。6521 特别适合在半导体连接上自动进行反向漏流测试,或在 FET 上进行栅极漏流测试。 Keithley6522 电压 / 低电流扫描卡可以提供*多 10 通道低电流、高阻抗电压、高阻或电荷切换。尽管它在许多方面与6521类似,但 6522 的输入连接器是 3 接线柱三同轴连接器。扫描卡可以通过软件配置,切换高达 200 V 的高阻抗电压。三同轴连接器则可以支持超过接地 500V 浮动电压及高达 200 V 驱动保护。 Keithley6521 和 6522 技术数据 每张卡通道数量 10 条。 功能 6521:电流测量。6522:电压和电流测量。 触点配置 单极,信号 HI 输入“先开后合”。信号 LO 是全部 10 条通道和输出共用。在一条通 道关闭时,信号 HI 连接到信号 LO。6522:6517B 还可以把通道配置成电压开关。 连接器类型 6521:输入:BNC。输出:三同轴。6522:输入:三同轴。输出:三同轴。 信号电平 6521:30 V, 500 mA, 10 VA ( 阻性负载 )。6522:200 V, 500 mA, 10 VA ( 阻性负载 )。 触点寿命 *大信号电平下闭合次数 >106 次;低信号电平下闭合次数 >107 次。 触点电阻 <1W。 触点 Potential <200mV。 偏置电流 <1 pA (<30 fA 典型值 @ 23℃ , <60% 相对湿度 )。 动作时间 2 ms。 共模电压 6521:<30 V 峰值。6522:<300 V 峰值。 通道隔离度 (6522) >1013 W, <0.3 pF。 输入隔离度 (6522) >1010 W, <125 pF ( 输入 HI 到输入 LO)。 环境 工作时:0℃ ~ 50℃,*高 35℃ @ 70% 相对湿度。贮存:-25℃ ~ 65℃