**代：点测量 ——适合做物体表面误差检测 代表系统有：三坐标测量仪；点激光测量仪；关节臂扫描仪（精度不高）。通过每一次的测量点反映物体表面特征，优点是精度高，但速度慢，如果要做逆向工程，只能在测量较规则物体上有优势。
**代：线测量——适合扫描中小件物体，扫描景深小（一般只有5公分），精度较低，此系统是过渡性产品。 代表系统有：三维激光扫描仪，三维手持式激光扫描仪，关节臂＋激光扫描头。通过一段（一般为几公分，激光线过长会发散）有效的激光线照射物体表面，再通过传感器得到物体表面数据信息。
第三代：面扫描——适合大中小物体的扫描，精度较低，扫描速度极快（单面400×300mm 面积，时间≤5秒），测量景深很大，一般为300-500mm，甚至更大。 代表系统：三维扫描仪（结构光、光栅式扫描仪），三维摄影测量系统等。通过一组（一面光）光栅的位移，再同时经过传感器而采集到物体表面的数据信息。