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OGP影像测量仪的主要校正内容

         OGP影像测量仪的主要校正内容
        OGP测量仪作为多元传感测量仪有影像、激光、探针以及微测针等多种传感模式，下面介绍的是主要校正的内容和步骤如下：
         一、影像校正：主要包括FOV倍率校正、同轴度校正和CCD角度校正。
        1、倍率校正：标准校验片放在视频中央成像清楚后，在各个倍率下实行自动倍率校正。通过这一步校正，确认各个倍率下，OGP的影像像素的实际标的尺寸，这是实行后续自动影像测量的基础。倍率校正完成后，OGP测量仪在*高倍率下的FOV测量精度将能达到0.2μm，重复精度达到0.05μm。如果倍率校正不通过，则OGP测量仪的精度就无从谈起。
        2、同轴度校正：找到标准校验片上的一个标准圆，在*大倍率下对焦清楚后，然后切换各级倍率，在*小倍的情况下，校正标准圆偏心情况。如果同轴度校正不通过，将使得OGP测量仪在后续涉及切换倍率的测量过程中产生误差，尤其是在测量空间尺寸时。
        3、 CCD角度校正：通过CCD角度的校正，使得CCD的水平方向与载物台的水平方向平行。如果CCD角度校正不通过，工件将无法摆正。
        二、光栅尺线性补正
        影像校正完成后，就可以通过标准校验规来进行XY方向的光栅尺线性补正了。XY方向的光栅尺线性补正通过后，OGP影像测量仪才能后进行精度范围内的跨视野测量。一般情况，光栅尺的误差是根据温度呈现线性变大或缩小的，因此，只需进行相应温度下的线性补偿即可完成校正。如果出现非线性误差，而且误差值较大的情况，基本上是硬件损伤导致的光栅尺损伤引起的，在这种情况下，*好的解决方法是更换新的光栅尺。

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