前苏联：1945年发布了GOCT2789-1945《表面光洁度、表面微观几何形状、分级和表示法》国家标准，后经过了3次修订成为GOCT2789-1973《表面粗糙度参数和特征》，该标准采用中线制，并规定了包括轮廓均方根偏差即现在的Rq在内的6个评定参数及其相应的参数值。
德国：在1952年2月发布了DIN4760和DIN4762有关表面粗糙度的评定参数和术语等方面的标准。其它工业发达国家的标准大多是在50年代制定的。