1、极限分辨率不同（放大信号源不同） 激光共聚焦：极限分辨率 150nm 扫描电镜：20nm~0.8nm 2、扫描驱动方式不同 激光共聚焦：激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度 扫描电镜：电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度 3、立体成像不同 激光共聚焦：通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像，软件将设定的各层图像合成清晰三维立体图像 扫描电镜： 单帧图像具有很大景深，属于二维图像 4、应用范围不同 激光共聚焦：几倍~ 几千倍 扫描电镜 ：几倍~几十万倍 5、工作环境不同 激光共聚焦：可在大气环境中测试样品 扫描电镜：在高真空环境下测试样品