旋转匀胶机主要用途

日期：2024-11-23 09:31

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摘要：

旋转匀胶机主要用途
　　旋转匀胶机是一种用于工程与技术科学基础学科领域的计量仪器，于2014年12月12日启用。

技术指标

　　旋转匀胶机可以自动定量滴加光刻胶（支持的光刻胶年度在10cp-500cp）,也可以实验手动滴加光刻胶；匀胶的时间可以在0.1s到999s范围内调整且连续；满足旋涂3mm到150mm直径范围的样品；稳定的转速范围可在50转/分到8000转/分，加速范围从50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均匀性在2%（Resist AZ5214E，1um）。

主要功能

　　旋转匀胶机常用于各种溶胶凝胶实验中的薄膜制作，需要旋涂的基片和的旋涂胶液间的粘滞系数不同，厚度也会有所不同，同时旋涂的时间和转速也会对厚度有不同的影响。

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