快速退火炉 CY-R1000-100IT(*高温度1100℃) 郑州成越科学仪器有限公司

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简单介绍：

RTP快速退火炉的主要特点有：可在真空/不同气氛/空气不同环境下，对样品进行快速热处理；控温精度高；适合高等院校或研究机构科研使用；主动式水循环冷却模式；立式设计；仪器采用触摸屏技术：操作方便，装取样片简单高效；价格合理，高性价比。

详情介绍：

本品是一款快速退火炉，采用卤素灯管加热，可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化、扩散、化合物半导体退火、离子注入后退火、电极合金化、晶化和致密化、合金熔点分析、薄膜沉积、等等。

设备主要由石英真空室、真空泵机组、水冷机组、控制系统组成。控制系统采用智能温控表控制，触控屏操作。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。炉膛采用左右滑动的方式，与样品的距离灵活可调。

设备配有国产双极旋片泵，具有体积小，噪音小，无油污污染等优点。

RTP快速退火炉技术参数：

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