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净化型匀胶机特点:
1、带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止
匀胶过程中的杂质污染。
2、 设置有LED照明灯,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可设置时间--转速曲线,程序控制匀胶工艺
4、7英寸液晶显示屏,操作简单易学无需专业学习
5、采用无刷伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
6、机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。
7、排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
8、透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效
隔绝有毒气味的散发。
9、前面板设置有电动玻璃屏升降按钮,可电动升降前挡玻璃板。
主要技术参数:
匀胶时间 |
1-99秒 |
匀胶转数 |
0-8000转/分 |
操作区风速 |
0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流()适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶 |
净化效果 |
100级(美国联邦标准) |
外形尺寸 |
650x750x1620mm |
外体颜色 |
亚白色 |
控制范围和精度 |
转速控制范围为:500-8000转,精度为±3% |
时间控制范围为 |
1-99秒,精度为±5% |
转速调整 |
采用PID调节,精度高 |
转速查看智能化 |
可自动识别哪个电机开或关,自动转换到开启的电机上。可予先选定,也可在运行中随时查看任一电机的转速 |