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本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。
主要技术参数：
双温区CVD系统产品规格：
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主要技术参数 |
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双 温 区 管 式 炉 |
显示模式 |
7英寸触摸屏 |
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真空控制 |
可通过参数设置，自动完成抽真空，恒压工作 |
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炉管材料 |
高纯石英 |
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炉管尺寸 |
直径：50mm，长度1000mm |
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加热温区 |
两温区 |
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温区长度 |
200mm+200mm |
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工作温度 |
室温～1100℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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升温速率 |
建议10℃/min |
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控温模式 |
可编程程序控温 |
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密封方式 |
真空法兰密封 |
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双通道质量流量计 |
气体通道 |
两通道 |
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测量仪器 |
质量流量计 |
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A路量程 |
氢气：0～500SCCM |
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B路量程 |
氩气：0～1000SCCM |
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连接管道 |
抛光不锈钢管 |
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气体缓冲器 |
1000ml |
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工作压力 |
≦3Mpa |
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工作压差 |
0.3MPa |
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管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
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真空泵 |
抽气接口 |
KF25 |
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排气接口 |
KF25 |
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抽气速率 |
24立方米/小时 |
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极限真空 |
5.0E-2Pa |
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电机功率 |
1100W |
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电机转速 |
1440转/分钟 |
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真空计 |
传感器类型 |
皮拉力 |
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真空量程 |
1.0E-1Pa～1.0E5Pa |
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安装方式 |
竖直放置 |
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工作电压 |
DC24V |
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相关配件 |
连接管道 |
KF25波纹管1米长 |
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聚四氟管5米 |
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石英炉管1根 |
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炉管塞子4个 |
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炉钩1支 |
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防护手套1双 |
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真空法兰1套（带密封圈、针阀、气路接头） |
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