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加热型旋转涂覆仪技术参数：
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项目 |
明细 |
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旋涂仪 |
供电电压 |
AC220V，50Hz |
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转速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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转速分辨率 |
1rpm |
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单步时间 |
3000s |
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基片尺寸 |
直径≤8英寸（200mm） |
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腔体材质 |
铝合金 |
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加热温度 |
≤200℃ |
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控温方式 |
AIP智能控温 |
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操作方式 |
7寸高清LCD触控屏 |
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滴胶方式 |
手动滴胶，可选购精密注射泵 |
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匀胶曲线 |
每条曲线5段，共可储存5条曲线 |
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抽气接口 |
φ6mm 快拧接口 |
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整机尺寸 |
290mm×365mm×300mm |
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整机重量 |
12kg |
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排气系统 |
真空泵 |
干式机械泵 |
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抽气速率 |
50L/min |
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供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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