产品名称：等离子增强型CVD系统

○ 产品介绍

CY-PECVD50R-1200-Q是一款等离子增强型CVD系统。此系统由150W射频电源、单温区管式炉、3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。

○ 技术参数

结构特点	• 150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度   • 3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行**的调控
工作电源	• AC208-220V，50/60Hz • 总功率：4KW
单温区管式炉	• *高温度：1100ºC(< 2h) 连续工作温度：1000℃  • PID温度控制器以及30段可编程温控系统  • 输入功率：220V，单相，功率：1.5KW • 加热区长度：200mm，恒温区：100mm  • 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管
等离子射频电源	• 输出功率：0-150W可调（稳定性：±1%） • 射频频率：13.56MHz(稳定性：±0.005%) • *大反射功率：150W  • 匹配：手动匹配 • 射频输出端口：50Ω、N型 • 噪音：＜50dB • 冷却: 空气冷却 • 电源: 220VAC, 50/60Hz
石英管	• 高纯石英管 • 尺寸：φ50mm*1200mm L
密封法兰	• 一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）
真空泵（该部分为选配，单独计费）	• 双级真空泵  • KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵
3通道质子流量计控制系统（该部分为选配，单独计费）	• 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的**控制（**度：±0.02%）  • 流量范围:  一路: 0~100 SCCM  二路: 0~200 SCCM  三路: 1~200 SCCM  • 电压：220V AC 50/60Hz • 气体进出口配件：直径6.35mm不锈钢管 • 不锈钢针阀用于手动控制气体进出
尺寸和重量	• 1400mm L x 600mm W x 1240mm H  • 净重：90kg
质保期	• 一年质保期，终生维护（石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外）
质量认证	• CE认证
使用注意事项	• 炉管内气压不可高于0.02MPa  • 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀  • 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击  • 石英管的长时间使用温度＜1100℃  • 对于样品加热的实验，使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。

○ 免责声明