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紧凑型直流磁控溅射镀膜仪应用领域：
紧凑型直流磁控溅射镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜，制膜面积可达到4英寸。设备外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。
紧凑型直流磁控溅射镀膜仪技术规格：
产品名称
桌面型单靶磁控镀膜仪
产品型号
CY-MSZ180-I-DC-Q
样品台
外形尺寸
φ100mm
加热温度
≦500℃
可调转速
≦20rpm
磁控靶枪
配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm
真空腔体
腔体尺寸
φ180mm X 215mm
观察窗口
全向透明
腔体材料
高纯石英
开启方式
上盖拆卸式
真空系统
前级泵
低噪音双极旋片泵
分子泵
低噪音大抽速涡轮分子泵
真空测量
复合真空计，量程:10-5~105Pa
抽气接口
KF16
抽气接口
KF40
排气接口
KF16
系统真空
1.0×10-4Pa
供电电源
AC
220V 50/60Hz
抽气速率
分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s
电源配置
电源数量
直流电源一套
输出功率
≦150W
其他参数
供电电压
AC220V,50Hz
整机功率
2kW
整机尺寸
550mm
X 350mm X400mm
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