产品名称：8.5"实验室等离子清洗机

8.5"实验室等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等保护气体，适用于对易氧化的物品的清洗。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。

8.5"实验室等离子清洗机技术参数：

输入功率	•     AC 220V , 50/60 Hz, •    射频功率：80 W Max.（标准）  •    真空泵：正常550W,启动750W •    总功率：830W max. •    工作电流≤3A
射频功率	•    射频功率可在0-80W范围内调节 •    射频：13,56 MH •    可选：可根据要求提供300 W射频电源，需额外收费
等离子室	•  8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高纯度石英室 • 体积: 12 L • 铰链式前法兰由铝制成 •  2.3”直径（60mm）石英窗口，便于观察 • 完全屏蔽RF辐射，零RF泄漏
控制面板	•  6”彩色触摸屏，可自动控制所有参数，用于等离子清洁，如真空度，气体流速，RF功率水平和清洁时间。 • 内置一个通道质量流量计（0-500ml /分钟），控制气体流量+/- 0.5 ml / m
真空泵和阀门	• 包含排气过滤器，KF25D适配器和夹具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 • *终总压力为50 mTorr
惰性气体	• 可以选择许多惰性气体进行等离子体清洁，如N2，Ar，空气和混合气体，取决于将要处理的材料类型。（不包括在包装内） • 等离子清洁器不得使用易燃气体
总体尺寸	620 L×600 W×600 H, mm
保证	一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室无保修)

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