产品名称：单室磁控溅射镀膜仪

单室磁控溅射镀膜仪设备用途：

用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。

单室磁控溅射镀膜仪技术参数：

真空室		圆型真空室，尺寸Ø 450×50mm
真空系统配置		复合分子泵、机械泵、闸板阀
极限压力		≦6.67*10-5 Pa （经烘烤除气后）
恢复真空时间		40 分钟可达到6 .6*10-4 Pa 。（系统短时间暴露大气并充入干燥氮气后开始抽气）
磁控靶组件		永磁靶三套；靶材尺寸Ø60mm（其中一个可溅射磁性材料）；各靶射频滩射和直流裁射兼容；靶内水冷；三个靶可共同折向上面的样品中心；靶与样品距离 90~110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40~80mm可调
基片水冷加热公转台	基片结构	基片加热与水冷独立工作，取下加热炉可以换上水冷基片台
	样品尺寸	Ø30mm
	运动方式	基片可连续回转，转速 5~10 转／分
	加热	基片加热*高温度600℃±1℃
	基片负偏压	－200V
气路系统		质 量 流 量 控制器 2 路
计算机控制系统		控制样品转动，挡板开关，靶位确认等
可选配件6工位基片加热公转台		拆下单基片水冷加热台可以换上该转台。可同时放置6片30mm的基片；6个工位中，其中一个工位安装加热炉，其余工位为自然冷却基片台；基片加热*高温度600℃ ±1℃
设备占地面积	主机	I300×800mm2
	电控柜	70×700m2

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