产品名称：有机无机蒸发镀膜仪

有机无机蒸发镀膜仪设备用途：

有机无机蒸发镀膜仪用于生长薄膜太阳能电池，EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

真空室		二个D型真空室，尺寸均约为Ø450×H750mm; 两个真空室的真空系统配置、极限压力、恢复真空时间、热阻蒸发舟及电源、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置、样品台的配置与技术参数指标相同；
真空系统配置		日本进口低温泵、无油涡旋干泵与电磁、复合数显真空测量规与计、阀门等。
极限压力		≤2.0×10-5Pa
恢复真空时间		40分钟可达到1×10-4Pa
电动磁力耦合样品传递装置	真空室1	采用磁力耦合line motion传递装置，采用步进电机驱动，设有远程手控控制盒，可控制直线前进后退。
有机蒸发源及电源	真空室1	新型0EL升华型蒸发源9支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃7支，室温-1000℃2支；蒸发源电源4台。
	真空室2	新型0EL升华型蒸发源6支，每支蒸料可装10CC，室温-800℃6支；蒸发源电源3台。
热阻蒸发舟及电源		新型蒸发舟2组（热阻蒸发舟）； 数字式热阻蒸发电源1台，带有细调功能（0.1安培）；镀铝专用盒式蒸发舟：2个； 普通金属蒸发舟10个；蒸发源挡板2套；
膜厚监测仪	厚度分辨率	不平均：0.0133埃/测量；50个样品平均：0.002埃/测量
	速率分辨率	不平均：0.0133埃/秒；50个样品平均：0.02埃/秒
	精度	0.03HZ/测量，2ppm
	速度	每秒测量十次
真空室照明装置		采用LED外照明方式.避免镀膜污染照明灯
烘烤装置		在真空室外烘烤带的烘烤方式
样品台	样品尺寸	可放置一块100×100mm或者50×50mm基片
	运动方式	可电动上下升降，可旋转，转速为0-30转/分，转速可调

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