产品名称：双温区管式炉

该双温区真空管式炉不仅可以抽真空，也可以通保护性气氛。开启式炉膛结构有利于炉管拆卸和观察物料装载，操作简单。透明石英管腔体可以直观的看到样品的烧结状态。本管式炉炉管水平穿过炉膛，加热元件呈四周均匀分布，温场均匀，炉管内部和炉膛之间的内外温差可控制在3度左右。炉体设计有缓冲上盖支撑结构让操作时可**开启。

该款双温区真空管式炉的组合主要适用于需要控制反应湿度的CVD试验和反应。

双温区管式炉技术参数：

项目		明细
双温区管式炉	供电电压	AC110V;60Hz
	工作温度	≤1100℃
	加热速率	建议10℃/min
	热电偶类型	B型热电偶
	炉管尺寸	φ80（OD）×φ74（ID）×1000（L）mm
	炉管材料	高纯石英
	密封法兰	带有1/4英寸的气体接口和真空接口
	加热温区	200mm+200mm
	温度控制	1） PID全自动控制加热速率，冷却速率以及保温时间 2） PID控制超温保护和短偶保护 3） 超温保护在报警功能使该设备可在无人看管的情况下运行 4） 温度精度在±1℃（即显示的温度和实际温度差）
	加热元件	电炉丝
蒸发器	容量	300mL
	加热套工作温度	≤250℃
	功能	有精密可编程温度控制器控制； 容器上有两个SS针阀和一个压力表
湿度监测器	安装方式	KF25适配器连接至加工管法兰
	测量范围	0-100%RH，1.5%FS精度，或-60°~+60°DP
	测量精度	±0.3°
	使用方法	调节蒸发器水内温度和H2气体流量以达到所需湿度水平
三路防腐浮子流量计	阀门类型	不锈钢针阀
	管道正常情况	关闭
	气体方式	3通道
	连接尺寸	1/4”
	压力范围	-0.1~0.15Mpa
	管芯材质	304不锈钢

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